【技术特点】-- NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统

• 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
  

• 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
  

• 旋转样品台，提供高均匀性
  

• 带观察视窗的腔门，便于放片/取片
  

• PC全自动控制，具有高度的可重复性
  

• Labview软件的计算机全自动工艺控制控
  

• 多级密码保护的授权访问设计
  

• EMO保护以及完全的安全联锁

  
  

  
  

【技术特点对用户带来的好处】-- NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统

【典型应用举例】-- NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统