NPE-4000 (ICPM) 等离子增强化学气相沉积系统_技术特点_分析测试百科网

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NPE-4000 (ICPM) 等离子增强化学气相沉积系统

tel: 400-6699-117 转 1000

那诺-马斯特教学仪器, 该系统采用淋浴头电极或中空阴极射频等离子源来产生等离子，具有分形气流分布的优势.样品台可以通过RF或脉冲DC产生偏压。

技术特点

【技术特点】-- NPE-4000 (ICPM) 等离子增强化学气相沉积系统

水冷样品台
可加热到的800 °C样品台
加热的气体管路
加热的液体传送单元
抗腐蚀的涡轮分子泵组
最大可支持到8MFC

【技术特点对用户带来的好处】-- NPE-4000 (ICPM) 等离子增强化学气相沉积系统

【典型应用举例】-- NPE-4000 (ICPM) 等离子增强化学气相沉积系统

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