【技术特点】-- 光学元件原子级涂覆系统

• RF射频偏压样品台

• 膜厚监测仪

• 极限真空5x10-7Torr

• 高精度及高重复性

• 原子级的洁净表面

• 原子级清洗和抛光

• 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

• 两个腔体之间自动传送

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完整的安全联锁

  
  

【技术特点对用户带来的好处】-- 光学元件原子级涂覆系统

【典型应用举例】-- 光学元件原子级涂覆系统