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NPC-4000(A)全自动等离子刻蚀机

tel: 400-6699-117 1000

那诺-马斯特电子束刻蚀, NANO-MASTER 等离子刻蚀和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用,从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。

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技术特点

【技术特点】-- NPC-4000(A)全自动等离子刻蚀机


  • 紧凑型立式系统

  • 自动上下载片

  • 带Load Lock

  • 不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔

  • 兼容100级超净间使用

  • 淋浴头、ICP或微波等离子源

  • 旋转样品台

  • RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台

  • 全自动或手动RF调谐

  • 最多可支持8个MFC带电抛光的气体管路

  • PC计算机控制的气动阀

  • 带密码保护的多级访问控制

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 机械泵的压力可达到10mTorr

  • 250 l/s的涡轮分子泵

  • 极限真空为5x10-7Torr

  • 完整的安全联锁




【技术特点对用户带来的好处】-- NPC-4000(A)全自动等离子刻蚀机


【典型应用举例】-- NPC-4000(A)全自动等离子刻蚀机



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