技术特点
【技术特点】-- NPC- 3000 等离子刻蚀机
台式系
不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔
兼容100级超净间使用
淋浴头、ICP或微波等离子源
旋转样品台
RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台
全自动或手动RF调谐
最多可支持4个MFC带电抛光的气体管路
PC计算机控制的气动阀
带密码保护的多级访问控制
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
机械泵的压力可达到10mTorr
250 l/s的涡轮分子泵
极限真空为5x10-7Torr
完整的安全联锁
【技术特点对用户带来的好处】-- NPC- 3000 等离子刻蚀机
【典型应用举例】-- NPC- 3000 等离子刻蚀机
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