NIE-3500 (A) 全自动IBE离子束刻蚀_参数指标_分析测试百科网

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NIE-3500 (A) 全自动IBE离子束刻蚀

tel: 400-6699-117 转 1000

那诺-马斯特电子束刻蚀, 该系统为全自动上下载片，并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统，系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。

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NIE-3500（A）全自动IBE离子束刻蚀产品应用：

表面处理
离子铣
表面清洗
带活性气体的离子束刻蚀：光栅刻蚀，以及SiO2，Si和金属的深槽刻蚀

厂家资料

地址：（香港）香港上环苏杭街84号华威大厦6楼601室

电话：400-6699-117 转 1000

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电子束刻蚀

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