技术特点
【技术特点】-- NDR-4000 (A) 全自动DRIE深反应离子刻蚀
基于PC控制的紧凑型立柜式百级DRIE深硅刻蚀系统，拥有高纵横比的刻蚀能力；
配套Lab View软件，菜单驱动，自动记录数据；
触摸屏监控；
全自动系统，带安全联锁；
四级权限，带密码保护；
自动上下载片；
带Load Lock预真空锁；
He气背面冷却，-60摄氏度的低温样品夹具；
高达-1000V的外部偏压；
涡轮分子泵 + 涡旋干泵；
可以支持DRIE和RIE两种刻蚀模式；
实时显示真空、功率、反射功率图表，以及流量实时显示；
【技术特点对用户带来的好处】-- NDR-4000 (A) 全自动DRIE深反应离子刻蚀
【典型应用举例】-- NDR-4000 (A) 全自动DRIE深反应离子刻蚀
请扫描二维码查看详细参数
经销商
|
除厂家/中国总经销商外，我们找不到
NDR-4000 (A) 全自动DRIE深反应离子刻蚀 的一般经销商信息，有可能该产品在中国没有其它经销商。
如果您是，请告诉我们，我们的邮件地址是：sales@antpedia.net 请说明: 1.产品名称 2.公司介绍 3.联系方式 |
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商，都可参与登记，我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。
