技术特点
【技术特点】-- LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统
支持450mm直径的圆片或15”x15”方片
带兆声、DI、刷子、热DI、高压DI、热氮、化学试剂滴胶臂的大腔体
带化学试剂滴胶的刷子转速可调节
带LABVIEW软件的PC全自动控制
触摸屏用户界面
机械手上下载片,带EFEM以及SMIF界面
安全互锁及警报装置
30”D x 26”W 的占地面积
【技术特点对用户带来的好处】-- LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统
【典型应用举例】-- LSC-5000 (AD) 全自动兆声大基片湿法去胶系统
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