技术参数

1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz

2、旋转涂膜模块

 　基片直径200mm，最高转速可达3000rpm；基片直径300mm，最高转速可达3000rpm。

3、超声雾化模块

  颗粒大小： 10um-20um

  流量大小： 0.6pl~4ml/min

  固体含量： ≤ 10%

  粘度大小： ≤ 100cPs 

4、注液系统

     本司提供多种形式的供液系统（单路、多路、加热等）