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GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶镀膜机, GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,最大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

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技术参数

1、输入电源:208V-240V  50Hz/60Hz

2、样品台:Φ60mm,高度可调节

3、石英腔体:Φ100mm×130mm

4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体

5、靶材:纯度为4N的金靶,Φ57mm×0.12mm



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