技术参数

1、靶：Φ45mm

2、真空室：Φ160mm×120mm

3、最高真空度：≤4×10^-2mbar

4、靶位：3个

5、最大电流：50mA

6、可设定最长时间：900s

7、微型真空气阀：连接Φ3mm软管

8、最高电压： 1600V  DC

9、机械泵：2L/s