技术特点
【技术特点】-- HRP®-260 探针式轮廓仪
HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪。HRP的性能经过生产验证,能够进行自动化晶圆装卸、可为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储和相关行业提供服务。P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的二维及三维测量,其扫描深度可达200mm而无需图像拼接。 HRP®-260配置的功能与P-260相同,并增加了能够对小特征进行高分辨率和高产量测量的高分辨率平台。
HRP®-260的双平台功能可以进行纳米和微米表面形貌的测量。 P-260配置提供长扫描(最长200mm)的功能,无需图像拼接,HRP®-260提供高分辨率扫描平台,扫描长度可达90μm。 P-260结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描的功能,实现了出色的测量稳定性。 HRP®-260采用高分辨率压电扫描平台提高性能。 通过采用点击式平台控制、低倍和高倍率光学系统以及高分辨率数码相机,其程序设置快速简便。 HRP®-260支持二维和三维测量,具有各种滤镜、调平和数据分析算法,以量化表面形貌。 并且通过自动晶圆装卸、图案识别、排序和特征检测以实现全自动测量。
主要功能
· 台阶高:纳米至327μm
· 恒力控制的低触力:0.03至50mg
· 样品全直径扫描,无需图像拼接
· 视频:在线低倍和高倍放大光学系统
· 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 软件:简单易用的软件界面
· 生产能力:通过测序、图案识别和SECS / GEM实现全自动化
· 晶圆机械传送臂:自动加载75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品
· HRP:高分辨率扫描平台,分辨率类似于AFM
【技术特点对用户带来的好处】-- HRP®-260 探针式轮廓仪
【典型应用举例】-- HRP®-260 探针式轮廓仪
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。