技术参数 | 1、输入电源:220V AC 50/60Hz 2、功率:200W 3、输出电压:500 VDC 4、溅射电流:0-50 mA可调 5、溅射时间:0-120S可调 6、溅射腔体 1)采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H 2)密封:采用不锈钢平法兰的O形密封圈 7、溅射头&样品台 l)溅射头可安装靶材直径为2英寸,厚度0.1 - 2.5mm 2)溅射时间1-120S可调 3)仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离30-80mm可调。 4)可选购加热型样品台,其最高加热温度为500℃ 5)安装有一可手动操作的溅射挡板,可进行预溅射 6)最大可制膜的直径为:4英寸(仅供参考,详情请点击)
8、真空系统 l)安装有KF25真空接口 2)数字真空压力表(Pa) 3)此系统可通入气体运行 4)< 1.0E-2 Torr (采用机械泵) 5)< 1.0E-5 Torr(采用涡旋分子泵) 9、进气 l)设备上配1/4英寸进气口,方便连接气瓶 2)设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流 10、靶材 l)靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) 2)设备标配为铜靶 11、产品外型尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
净重:20 kg(不包括泵) |
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