技术参数 | 1、电源:AC220V 1500W 2、蒸发电源功率:1000W 5V 200A 3、蒸发电极有效距离:44mm 4、样品台:?120mm(可旋转) 5、膜厚测量精度:0.1?或0.01?(可选配高精度型) 6、外接真空机组:国产分子泵机组(可选配扩散泵机组或进口分子泵机组)(不建议使用扩散泵) 7、极限真空度:>3.0×10-3torr(扩散泵)、8.0×10-4Pa(分子泵)(不建议使用扩散泵) 8、工作真空度:5.0×10-3torr 9、真空接口:KF40 10、使用环境:温度35℃,湿度<75%(相对湿度)不结露,海拔<1500m |
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