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OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶其他, OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉是一款快速蒸发管式炉,专门用于PVD或CSS法制作薄膜;其炉管外径为11″,炉管内载样盘可放置3″的圆形或2″×2″的方形基片;加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体顶端和底部,升温速率高达20℃/s;温控系统采用PID30段程序化控制,控温精度为±1℃,并且仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。

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技术参数

1、电源:单相AC208V-240V(需20A的空气开关)

2、真空腔体:高纯石英管,外径280mm,内径275mm,高229mm

3、加热元件:两组IR红外灯管,额定功率800W,总功率1600W

4、热电偶:S型热电偶2个,分别安装于上下法兰上

5、工作温度:两个加热区域单独工作的最高温度≤650℃,两加热区域最大温差≤350℃

6、加热速率:>8℃/s

7、冷却速率:>10℃/s(600℃-100℃)

8、真空法兰:316不锈钢制作,配有1个KF-25接口、2个1/4″软管接头

9、真空计:数字式真空显示计


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