技术参数 | 1、电源:220V 2、总功率:<2000W(包括真空泵) 3、真空室:?160mm×120mm 4、样品台:?50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、最大均匀镀膜:?45mm |
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沈阳科晶其他, GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300?,特别适用于SEM样品的镀膜。
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