技术特点
【技术特点】-- GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
产品简介:GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300?,特别适用于SEM样品的镀膜。
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪 | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 | ||
主要特点 | 1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。 6、已通过CE认证。 | ||
产品规格 | 尺寸:400mm×300mm×400mm;重量:30kg | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 进气针阀 | 1个 | |
3 | 保险丝 | 2个 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 |
【技术特点对用户带来的好处】-- GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
【典型应用举例】-- GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
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