技术参数 | 1、靶:?45mm 2、真空室:?160mm×120mm 3、最高真空度:≤4×10-2mbar 4、靶位:3个 5、最大电流:50mA 6、可设定最长时间:900s 7、微型真空气阀:连接?3mm软管 8、最高电压:1600V DC 9、机械泵:2L/s |
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沈阳科晶其他, GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。
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