技术特点
【技术特点】-- GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
产品简介:GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪 | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) 4、工作台:尺寸600mm×600mm×00mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 | ||
主要特点 | 1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。 6、已通过CE认证。 | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 铜靶材 | 1个 | |
3 | 铝靶材 | 1个 | |
4 | 进气针阀 | 1个 | |
5 | 保险丝 | 2个 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 |
【技术特点对用户带来的好处】-- GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
【典型应用举例】-- GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。