技术参数

1、靶：?50mm

2、样品台：?50mm

3、真空室：?160mm×110mm

4、真空度：4×10^-1mbar-2×10^-2mbar

5、极限电流：50mA

6、可设定极限时间：9999s

7、极限电压：1600V  DC可调

8、真空泵：4L两级机械旋转泵，极限真空2×10^-2mbar（也可选配国产分子泵）