技术参数 | 1、靶:?50mm 2、样品台:?50mm 3、真空室:?160mm×110mm 4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar 5、极限电流:50mA 6、可设定极限时间:9999s 7、极限电压:1600V DC可调 8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵) |
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