技术参数

   1、输入功率：110V/220V通用   2000W（含真空泵）

   2、输出功率：1600VDC  50mA（最大电流）

   3、石英罩：?160mm×120mm

   4、样品台：?50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min）

   5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

   6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量

   7、靶材：尺寸直径?47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻

　　       金属、Al、Zn、C等