本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

   1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。

   2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。

   3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。

   4、已通过CE认证。

产品规格

　尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg

可选配件

   1、KF25真空接口、卡箍

   2、不锈钢波纹管（600mm）

   3、旋片式真空泵（120L/M）

   4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材

   5、加热型样品台