技术参数

1、系统采用单室筒式结构，手动前开门；
2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造（304），氩弧焊接，表面采用喷玻璃丸+电化学抛光钝化处理配有可视观察窗口，并带挡板，真空有效尺寸为Φ300mm×300mm；
3、极限真空度：≤6.67x10-4Pa (经烘烤除气后，采用600L/S分子泵抽气，前级采用4L/S)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统从大气开始抽气到5.0x10-3 Pa，40分钟可达到； 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
4、采用样品在下，喷淋头在上的电容式耦合方式进气；
5、样品加热最高加热温度：500℃，温控精度：±1°C，采用控温表进行控温；
6、喷淋头尺寸：Φ90mm，喷淋头与样品之间电极间距40-100mm在线连续可调（可根据工艺调整），并带有标尺指数显示；
7、 沉积工作真空：0.133-133Pa（可根据工艺调整）；
8、射频电源：频率 13.56MHz，最大功率500W，全自动匹配；
9、.气体种类（用户提供），使用质量流量控制器控制进气。

10、系统设有尾气处理系统(用户自备)。