GSL-CKJS-450-B1磁控溅射

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氮/氩气（纯度99.99%以上），需自备实验气体气瓶（自带?10mm双卡套接头）及减压阀

4、场地：设备尺寸3500×1600mm，承重1000kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、真空度高。

2、可制备多种薄膜，金属、半导体、绝缘体等，应用广泛。

3、体积小，操作简便。

4、清理安装便捷。

5、控制可选一体化触摸屏控制

产品规格

整机尺寸：1500×900mm×2000mm；

标准配件

1

电源控制系统

1套

2

真空获得系统

1套

3

真空测量装置

1套