技术参数 | 1、极限真空度:≤6.67x10-5Pa (经烘烤除气后); 2、系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S; 3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,20分钟可达到5x10-3 Pa; |
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