【技术特点】-- 得利特A1195快速平衡法微量闪点测试仪

Park NX-Wafer

可自动进行缺陷检测的低噪声、高通量原子力轮廓仪

Park NX-Wafer是唯一可进行自动缺陷检测的晶片制造原子力显微镜。可以扫描300mm的大晶片，在确保高度的准确性和高质量的前提下，可以提高实验室产率10倍。

精确、高通量原子力轮廓分析

• 可缺陷成像和分析的全自动原子力显微镜

• 能偶扫描300mm大晶片

• 提高缺陷检测效率至高达10倍

• 低噪音原子力轮廓分析可得到更精确的CMP轮廓测量

• 亚埃米级表面粗糙度测量

• 针尖对针尖作用力最小化
  

【技术特点对用户带来的好处】-- 得利特A1195快速平衡法微量闪点测试仪

【典型应用举例】-- 得利特A1195快速平衡法微量闪点测试仪