主要特点

1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命。

4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头，便于操作。

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

7、配有铜靶1块。

产品规格

尺寸：14“（355.6mm）；重量：1.36kg

可选配件

1、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。

2、100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD，可自行搭建溅射镀膜仪。

主要应用

在真空腔体中HVMSS-SPC-1-LD磁控溅射头可制作各种薄膜，应用如下：

薄膜涂覆、半导体器件、磁记录介质、超导薄膜、量子计算器件、MEMS、生物传感器、纳米技术、超晶格、颗粒膜、记忆合金、组合薄膜沉积、光学薄膜