技术参数 | 1、阳极护罩直径:?3.5“ 2、所用靶材:直径2“(50.8mm),非磁性靶最大厚度1/4“,磁性靶最大厚度1/16“ 3、磁铁:NdFeB稀土永磁体 4、靶材利用率:30% 5、所需功率:DC最大1000W,RF最大500W 6、溅射电流:最大3A 7、溅射电压:100V-1000V 8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr 9、溅射均匀性曲线:
10、水冷却:水管外径0.25“,流速0.8GPM,进水温度<20℃ |
请扫描二维码查看详细参数
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。