技术参数 | 1、极限真空度：≤6.67x10-5Pa (经烘烤除气后)； 2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.6x10-4Pa； | ||
基本参数 | 1、真空室可立式或卧式； 2、真空室直径尺寸：φ200-φ2000mm（根据客户要求设计加工）； 3、电阻加热：单区加热、双区加热、三区以及多区加热； 电阻加热材料：高温钨、钼、钽及石墨；一般温度采用复合材料，铁铬铝、镍铬等； 4、保温方式及材料: 多层金属屏保温； 石墨筒或碳毡保温； 水冷屏保温； 5、温度：100℃-2300℃ |
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