膜厚监测仪

技术参数

EQ-TM106-1监测组件

1、电源：DC  5V（±10%），最大电流400mA

2、频率分辨率：±0.03Hz

3、膜厚分辨率：0.0136?（铝）

4、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度

5、测量速度：100ms-1s/次，可设置

6、测量范围：500000?（铝）

7、标准传感器晶体：6MHz

8、计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）

9、模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）

10、工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠

11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm