技术特点
【技术特点】-- 膜厚监测仪
产品简介:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。
产品名称 | EQ-TM106膜厚监测仪 | ||
产品型号 | EQ-TM106 | ||
主要特点 | 1、本机可与计算机连接。 2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。 3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。 4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。 | ||
标准配件 | 1 | EQ-TM106-1监测组件 | 1个 |
2 | EQ-TM106-2显示仪 | 1台 | |
3 | EQ-TM106-3探头 | 1个 |
【技术特点对用户带来的好处】-- 膜厚监测仪
【典型应用举例】-- 膜厚监测仪
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