Joule Yacht 薄膜热电参数测试系统 MRS

薄膜热电参数测试系统产品特点

　　●   专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。

　　●   测试环境温度范围达到81K~700K。

　　●   采用动态法测量Seebeck系数，避免了静态测量在温差测量上的系统误差，测量更准确。

　　●   采用四线法测量电阻率。

　　●   热电偶探针经过严格的筛选配对保证测试结果的准确和稳定。

　　●   软件操作简单，智能化可实现全自动模式。

薄膜热电参数测试系统测试实例

标准镍带测试结果

东华大学MoS2测试结果

MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（中国科学院电工研究所提供样品）

MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（中国科学院电工研究所提供样品）

薄膜热电参数测试系统技术参数

薄膜热电参数测试系统样品要求

　　●样品满足上述样品尺寸，待测面需平整，薄膜均匀性好，保证与铜片接触良好

　　●薄膜材料厚度最低可至100nm，其均匀性有较高要求，薄膜厚度达到微米级别较好

　　●薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜，如玻璃、Si等材料

薄膜热电参数测试系统技术原理

　　动态法：测量Seebeck系数

　　在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差，通过记录样品两端温差和热电势的变化，然后将温差和热电势拟合成一条直线，直线斜率即为该材料在该温场下的Seebeck系数。

　　采用四线法测量电阻率。