脉冲激光热反射法薄膜导热仪

性能：

-由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。

-系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。

RF测量模式：主激光源从反面加热薄膜，检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程，从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于透明基片。

FF测量模式：主激光源从正面加热薄膜，检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程，从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于不透明基片。

-该方法符合国际标准：

JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；

JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。