技术参数

1、最大设置温度：300℃

2、最大设置时间：100,000S

3、时间分辨率：0.1Smm

4、顶针调节距离：30mm

5、顶针分辨率：0.1mm

6、加热功率：1000W

7、控温范围:室温-300℃

8、温度分辨率:0.1℃

9、控温精度:±0.2℃

10、表面温度均匀性:<±1%

11、可存贮100组烤胶配方,每个配方可设置5个加热阶段

12、电动顶针高度0-30.0mm

13、顶针高度分辨率:0.1mm

14、顶针可使用底物直径大于40mm晶圆,特殊要求可定制