技术参数

1、电源：三相380V  25KW

2、感应射频：功率25KW，射频0.2KHz-20KHz

3、真空腔体：?500mm×700mm

4、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（扩散泵）

5、最大提拉行程：500mm

6、提拉速度：0.1mm/h-20mm/h

7、籽晶杆旋转速度：0-40rpm

8、最大可熔融温度：2100℃

9、控温精度：<±0.2℃

10、冷却水：所需水压0.13MPa-0.18MPa，所需流量60L/min

11、移动速度：1mm/h-10mm/h可调

12、快速移动：手动

13、结晶转速：1rpm-50rpm

14、真空系统：机械泵和扩散泵

15、极限真空度：10^-5torr