技术参数

1、电源：单相208V-240V AC  50Hz/60Hz  2.5KW（20A保险丝）

2、石英管：外管外径?100mm，内径?96mm，长1400mm

内管外径?80mm，内径?75mm，长1400mm

3、加热区：440mm

4、恒温区：120mm（双温区炉可获得240mm）

5、工作温度：最高温度1100℃，连续温度1000℃

6、控温精度：±1℃

7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

8、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封

10、流量计：4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示）

                      MFC1范围0-100sccm    MFC2范围0-200sccm

MFC3范围0-200sccm    MFC4范围0-500sccm

11、流量精度：0.2%

12、进出气口：1/4“卡套