本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、采用高纯Al₂O₃保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发生CVD反应。

3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管。

4、配有四通道质量流量计控制4路气体，及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

产品规格

尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg

可选配件

1、铜箔（150m×150mm×25μm，生长石墨烯用）

2、防腐型数字式真空显示计