技术参数

1、电源：单相208V-240V AC  50Hz/60Hz  9KW

2、石英管：外径?100mm，长1400mm

3、加热元件：红外灯管

4、加热腔体：?100mm×1400mm

5、工作温度：最高温度1000℃（<1h），连续温度950℃

6、控温精度：±0.5℃

7、最高升温速度：100℃/s

8、降温速度：8.3℃/s（900℃-600℃）  4.4℃/s（600℃-500℃）  2.8℃/s（500℃-400℃）

                        1.6℃/s（400℃-200℃）  0.9℃/s（300℃-200℃）

9、热电偶：K型，?6.35mm×610mm

10、滑轨：采用镀Cr厚钢管制成，由温度控制器自动控制移动，当程序完成，炉体按设定的速度滑动，轨长 1200mm，滑动速度0-70mm/s，滑动距离340mm

11、真空法兰：不锈钢，长时间在>900℃条件下运行必须采用水冷，冷却水流量4L/min

12、流量计：16ml/min-160ml/min

13、真空度：10^-3torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）