本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

    1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

    2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

    4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5

          torr。

    5、迷你型浮子流量计精度为4%。

    6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。

　真空泵

　工作电压：AC208V-240V单相

　移动炉架

　尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管

产品规格

注意事项

　操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流

　量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安

　全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。

其他事项

　本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统。请参看下图。