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小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶其他包装业专用, 小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管和真空法兰,是专为半导......

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技术参数

 

1、电源:208V-240V AC,50Hz/60Hz单相,最大功率9KW(>60A保险)

2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)

3、石英管:外径?110mm,内径?103mm,长380mm

4、样品架:76mm

5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈?10mm,灯长300mm

            

6、恒温区:102mm×305mm,均匀性±5℃

7、热偶:K型热偶

8、温度:最高温度1100℃,额定温度1000℃(警告:在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s,否则O型圈将被烧融)

9、控温精度:±1℃

10、最快升温速度:RT-800℃内50℃/s,800℃-1000℃内10℃/s

11、最快降温速度:60℃/min(在200mtorr下),117℃/min(在一个大气压下)

12、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵)

13、真空法兰: 带有KF-D25高真空不锈钢法兰,配有两个高温O型圈密封

14、流量计:16ml/min-160ml/min

15、真空计:数字真空计,测量范围10mtorr-800torr(注意:此表在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会严重)

16、水冷:如要求通冷却水,请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI(建议采用循环水制冷器作为冷却系统)





厂家资料

地址:沈阳市浑南新区学风路26-2-7号5门 精密仪器工业园

电话:400-6699-117 转 7739

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