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4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶其他包装业专用, 4"高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管及高真空系统(机械泵+分子泵), 是专为半导体或太阳能电池基片(最大3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

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技术参数

1、电源:炉体单相208V-240V,50Hz/60Hz,10KW

     高真空系统AC110V/220V任意切换,50Hz/60Hz,110W

2、炉体结构:双层莫来石钢构

3、石英管:外径?110mm,内径?103mm,长380mm

4、样品架:76mm

5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈?10mm,灯长300mm

6、加热区:102mm×305mm,均匀性±5℃

7、热偶:K型热偶

8、温度:最高温度1100℃,额定温度1000℃,在1000℃-1100℃下保温时间不得超过600s

9、控温精度:±0.5℃

10、最快升温速度:RT-800℃内50℃/s,800℃-1000℃内10℃/s

11、高真空系统气动时间:2min

12、真空度:6.3×10-5mbar(在40min中)

13、真空法兰:KF-D25,配有两个高温O型圈密封

14、流量计:16ml/min-160ml/min

15、前级泵流速:在10mbar状态下3.8L/min,50Hz;4.4L/min,60Hz


厂家资料

地址:沈阳市浑南新区学风路26-2-7号5门 精密仪器工业园

电话:400-6699-117 转 7739

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