本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。

2、样品架上放置76mm的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很好的温度均匀性（±5℃）。

3、内插式热偶保证了温度的准确性。

4、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能。

5、已通过CE认证。

产品规格

炉体：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg

高真空系统：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg