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带3路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F

tel: 400-6699-117 7739

沈阳科晶其他, 带3路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品(尺寸可达3")的退火而设计,配有3路流量计和机械泵。本机采用 9KW的红外灯进行加热,最快升温速度可达 100℃/s,配有RS485 接口,可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。

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技术参数

1、电源:单相208V-240V AC  50Hz/60Hz  9KW

2、石英管:外径?110mm,内径?103mm,长380mm

3、加热元件:红外灯管,直径?10mm,长300mm

4、加热区:300mm

5、工作温度:最高温度1100℃

6、控温精度:±0.5℃

7、最高升温速度:RT-800℃时为50℃/s,800℃-1000℃时为10℃/s

8、温控仪:可控硅(SCR)PID自动控制

9、真空法兰:不锈钢,带有水冷接口和针阀,双层高温O型圈密封,长时间在>900℃条件下运行必须采用水冷,循环水流量为0.5m3/hr

10、真空度:10-3torr

11、流量计:3个,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS


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