技术参数

1、电源：单相AC 220V  50Hz/60Hz   8KW（需50A的空气开关）

2、石英管：外管外径?279mm，内径?269mm，长1300mm，两端打开，可连接法兰

内管外径?216mm，内径?206mm，长750mm，一端封闭，一端连接气体出入口

3、加热元件：NiCrAl电阻丝

4、加热区域：长900mm

5、温区：3个，各300mm长

6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）

7、工作温度：最高1100℃（<1h），连续工作200℃-1000℃

8、最大升降温速率：10℃/min

9、热电偶：3个，K型

10、控温精度：±1℃

11、真空度：10^-2torr（机械泵）

12、法兰：左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口，右侧法兰设有KF-40真空接口和真空阀门