技术特点
【技术特点】-- 1100℃双管三温区管式炉
1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8外炉管直径达到11“,内管直径8.5“,在加热管一端装有一对高真空不锈钢法兰,法兰上配有机械压力表和阀门,三个温区都采用30段可编程数字控温器,并配有K型热电偶进行测温,专门针对于在金属箔上生长薄膜物质。
产品型号 | 1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8 |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料,可以最大程度的减少能量的损失。 2、采用不锈钢真空密封法兰,使用硅胶密封圈进行密封。 3、采用三个PID控制器,可以设置30段升降温程序。 4、加热前需将石英管堵放入炉管,防止热量以热辐射的形式散失。 5、使用内管进行薄膜生长可放置最大8“的基片。 6、已通过CE认证。 |
产品规格 | 尺寸:不包含真空法兰1300mm×623mm×940mm,包含真空法兰1670mm×623mm×940mm 重量:200kg |
可选配件 | 1、石英管堵 2、PC控温软件 3、KF-40转KF-25接头 |
【技术特点对用户带来的好处】-- 1100℃双管三温区管式炉
【典型应用举例】-- 1100℃双管三温区管式炉
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