【技术特点】-- 热式气体质量流量控制器

         Axetris热式气体质量流量计/控制器：

    Axetris MFM/MFC 2000系列适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器；
    从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器，到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组，Axetris最新的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。
技术优点：

• 基于MEMS技术

• 极其紧凑的尺寸

• 高精度

• 快速响应时间

• 多种气体/多量程

• 模块化

• 极佳的长期稳定性

【技术特点对用户带来的好处】-- 热式气体质量流量控制器

【典型应用举例】-- 热式气体质量流量控制器