产品简介:
技术参数 | 测头规格 | 穆勒矩阵椭偏测头 | 光谱椭偏测头 | 反射膜厚测头 |
自动化程度 | 可变/固定角+ mapping | 可变/固定角+ mapping | 垂直角+ mapping | |
应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 | 通用型 | |
单次测量时间 | 0.5-5s | 小于1s | ||
分析光谱 | 380-1000m(支持扩展至193-2500nm) | 380-1100nm | ||
Mapping行程 | 支持行程定制化 | |||
支持样件尺寸 | 安需定制化 |
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