技术参数 | 自动化程度 | 可变/固定角 |
应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 |
单次测量时间 | 0.5-5s | |
分析光谱 | 380-1000nm(支持扩展至193-2500nm) | |
Mapping行程 | 支持100x100mm行程扩展 | |
支持样件尺寸 | 支持200mm样件 |
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沈阳科晶其他包装业专用, 全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台,通过整体高度模块化,电、气路集成技术,实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性,异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征;工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜(配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜)全片离线化快速扫描测量。
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技术参数 | 自动化程度 | 可变/固定角 |
应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 |
单次测量时间 | 0.5-5s | |
分析光谱 | 380-1000nm(支持扩展至193-2500nm) | |
Mapping行程 | 支持100x100mm行程扩展 | |
支持样件尺寸 | 支持200mm样件 |
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