技术参数 | 1、自动化程度:固定角+ mapping 2、应用定位:检測型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光谱 4、分析光谱:380-1000nm(可扩至193-2500nm) 5、单次测量时间:0.5-5s 6、重复性测量精度:0.01nm 7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200um 8、入射角调节方式:固定角 9、入射角范围:65° 10、找焦方式:手动找焦 11、Mapping1程:300x300mm 12、支持样件尺寸:最大至300mm |
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