技术参数 | 型号 | SR-CV | SR-CN | |
基本功能 | 获取薄膜厚度值以及R、N/K等光谱 | |||
光谱波长范围 | 380-800nm | 650-1100nm | ||
测量厚度范围 | 50nm-20um | 100nm-200um | ||
测量时间 | <1s | |||
光斑尺寸 | 0.5-3mm | |||
重复精度 | 0.1nm(100nmSiO2/Si) | |||
绝对精度 | ±1nm or 0.5% | |||
入射角方式 | 垂直入射 |
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